近年来光电与光伏半导体工业发展迅速，相关的制程越来越复杂，线宽越来越窄，工艺要求也越来越高，生产过程需要使用大量的化学药品，而这些化学品都具有一定危险性和腐蚀性，稍有疏忽，就会造成重大的人员伤亡和设备的损失，所以如何将这些化学品在保证品质的前提下安全输送到制程设备上使用，PFA管件如何将这些使用过的化学品合理地回收处理，将是半导体产业工厂生产安全的重要问题，这些都对工厂各形同的持续无故障运行能力以及所提供的制程相关原料品质提出了更高的要求。

在半导体产业化的生产中，化学液供应系统主要以中央供应系统为主，对于用量较小之化学液则采取人工供应方式。中央化学液供应系统缩写为CDS（Center Chemical Dispense System）或者简写为BCD（Bulk Chemical Distribution）,它是为生产线24h不间断供应化学液的系统。一般使用CDS系统的化学液都有需求量大，危险性高的特点。

系统供应目的：

CDS系统主要供应给以下的工艺步骤：

（1）光刻显影制程需要的化学液显影芯片图案；

（2）晶圆清洗制程需要的化学液用以清洗芯片上的杂质、微粒子等；

（3）湿法刻蚀制程需要的化学液用以刻蚀芯片图案；

（4）薄膜制配制程需要的化学气相沉积前置反应物；

（5）化学机械抛光制程需要的化学液用以抛光芯片；

（6）研磨制程需要的化学液用以研磨芯片；

（7）清洗配件载体需要的化学液用以清洗制程设备零配件。

化学品输送系统组成：

1、化学品供应系统包括：

2、化学品输送柜（即 CDM），是化学品输送系统的心脏，系统的主要部件如 Pump、过滤器、阀门、PLC 电控部分等都集中安装在 CDM 上/内，是整套系统的控制中心。

3、化学品储槽是用于储存从化学品原液桶或槽车输送来的化学品。

4、化学分配管路系统，由 CDM 出口的主管道、经过三通阀箱、连接到 VMB、VMB 连接到工艺设备的所有管道阀门系统。用于将化学品输送至各个使用点。

5、IO 输入输出系统主要负责化学品设备与工艺设备通讯。

6、通讯网络至 CDM、IO Panel、SCADA 之间的网络通讯架构，一般采用 Ethernet。

7、监控系统通过网络通讯，将现场所有 CDM、IO Panel 的信号连接到 SCADA 的监控电脑，PVDF转PFA接头包括历史警报、用酸记录、工作曲线、监控数据等信息都将记录在监控电脑上，供操作人员随时查阅。

8、电力分配系统供电给各个化学品输送系统的 CDM。

9、公用介质系统指化学品输送系统正常工作所需要的如电、排气、UPW、排水、CDA、N2 等各种外部供给。

10、日常操作工具包括系统操作运行必须的推酸车、甲酸车、拖板车、开桶器等常用工机具。安全防护装备包括防护服、防酸手套、自过滤式呼吸器等个人防护用品和应急防护用品。